ICS 71.040.40 GE CCS G 04 中华人民共和国国家标准 GB/T251872024/IS015471: 2016 代替GB/T25187—2010 表面化学分析俄歇电子能谱选择仪器性能参数的表述 Surface chemical analysisAuger electron spectroscopyDescription of selected instrumental performance parameters (ISO 15471: 2016, IDT) 2024-11-28发布 2025-06-01实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会 GB/T 25187—2024/IS0 15471:2016 目次前言引言 1 范围 2 规范性引用文件术语和定义 3 符号和缩略语 4 选择仪器性能参数的表述 5 5.1 分析方法 5.2 样品 5.3 系统配置 5.4 电子枪阴极 5.5 横向分辨和束流 5.6 谱仪信号强度和能量分辨 5.7 谱仪能量标谱仪强度线性 5.8 5.9 谱仪响应函数 5.10 谱仪参数 5.11 图像漂移 5.12 真空环境参考文献