ICS 25.100.70 GB CCSJ43 中华人民共和国国家标准 GB/T44687—2024 超硬磨料制品 半导体晶圆精密磨削用砂轮 Superabrasive productsPrecision grinding wheels for semiconductor wafers 2024-09-29发布 2025-04-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T44687—2024 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国机械工业联合会提出。 本文件由全国磨料磨具标准化技术委员会（SAC/TC139）归口。 北京安泰钢研超硬材料制品有限责任公司、江苏三晶半导体材料有限公司、青岛高测科技股份有限公 司、广东奔朗新材料股份有限公司。 本文件主要起草人：包华、赵延军、陈卫东、黄国钦、刘一波、邹余耀、张秀涛、陶洪亮、谷春青、韩欣、 丁玉龙、李国伟、牛俊凯、张良、叶腾飞、王礼华、朱亮、杨松彬、尹玉龙、 II GB/T44687—2024 超硬磨料制品 半导体晶圆精密磨削用砂轮 1范围 本文件规定了半导体晶圆精密磨削用砂轮的产品分类、产品标记、技术要求、试验方法、检验规则 标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于半导体晶圆边缘倒角精密磨削和端面减薄精密磨削用金属结合剂、树脂结合剂和陶 瓷结合剂及其复合结合剂金刚石砂轮。 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文 本文件。 GB/T1800.2一2020产品几何技术规范（GPS） 线性尺寸公差ISO代号体系 第2部分：标准 公差带代号和孔、轴的极限偏差表 GB/T2493磨具回转强度试验方法 GB/T9239.1 机械振动恒态（刚性）转子平衡品质要求 第1部分：规范与平衡允差的检验 GB/T16458 磨料磨具术语 GB/T35479 超砖磨料制品 金刚石或立方氮化硼磨具 ：形状总览和标记 JB/T7425 超硬磨料制品 金刚石或立方氮化硼磨具技术规范 3术语和定义 GB/T16458界定的术语和定义适用于本文件。 4产品分类 4.1晶圆边缘倒角精密磨削用砂轮（以下简称为“倒角砂轮”） 4.1.1 磨料层槽型 磨料层槽型及代号见表1。 1