ICS 13.030.99 Z 00 团 体 标 准 T/ SICA 001 -2020 钛白粉用 集成电路制造行业废硫酸 Waste sulfuric acid in titanium dioxide manufacturing industry （发布稿） 2020-04-30发布 2020-06-01实施 上海市集成电路行业协会 发布 全国团体标准信息平台 T/SICA 001 -2020 I 目 录 前 言 ...................................................................................................................................... II 1 范围 ....................................................................................................................................... 1 2 规范性引用文件 ................................................................................................................... 1 3 要求 ....................................................................................................................................... 1 4 试验方法 ............................................................................................................................... 2 5 检验规则 ............................................................................................................................... 5 6 标志、包装、运输、贮存 ................................................................................................... 5 7 安全要求 ............................................................................................................................... 6 全国团体标准信息平台 T/SICA 001 -2020 II 前 言 本标准针对 钛白粉企业利用集成电路 制造企业 产生的废硫酸 ， 提供规范化与标准化 的科 学依据。 本标准由上海华虹宏力半导体有限公司、上海彭博钛白粉有限公司共同提出。 本标准由上海市集成电路行业协会 归口管理。 本标准起草单位： 上海市集成电路行业协会、 上海华虹宏力半导体制造有限公司、中芯 国际集成电路制造（上海）有限公司、上海华力集成电路制造 有限公司、台积电（中国）有 限公司、上海积塔半导体制造有限公司、上海澎博钛白粉有限公司 。 本标准首期承诺执行单位： 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司、中芯南方集成电 路制造有限公司 、上海华力微电子有限公司、上海华力集成电路制造有限公司、华虹宏力半 导体制造有限公司、上海积塔半导体制造有限公司、台积电（中国）有限公司、上海新进半 导体有限公司、上海新进芯微电子有限公司、上海澎博钛白粉有限公司 。 本标准主要起草人： 徐伟、陶金龙、石建宾、 何姚军、张大炜、付笃 、姚弘珏、孙茜、 蔡静莉、孟现隆。 本标准由上海市 集成电路 行业协会团体标准制定 委员会负责解释。 本标准于 2020年 5月首次发布。 全国团体标准信息平台 T/SICA 001 -2020 1 钛白粉用集成电路制造行业 废硫酸 1 范围 本标准规定了在 用硫酸法工艺生产钛白粉时， 采用集成电路制造行业废硫酸的要求、试 验方法、检验规则以 及标志、包装、运输、贮存、安全要求。 本标准适用于钛白粉生产用的集成电路制造清洗工艺所产生的废硫酸（以下简称“硫 酸”）。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注 明日期的引用文件，仅注 明日期的版 本适用于本文件。凡是不注明日期的引用文件，其最新版本适用于本文件。 GB 190- 2009 危险货物包装标志 GB/T 534 -2014 工业硫酸 GB/T 601 化学试剂 标准滴定溶液的制备 GB/T 602 化学试剂 杂质测定用标准溶液的制备 GB/T 603 化学试剂 试验方法中所用制剂及药品的制备 GB/T 610 化学试剂 砷测定通用方法 GB/T 6680 液体化工厂品采样通则 GB/T 6682- 2008 分析实验室用水规格和实验方法 GB/T 8170 数值修改规则与极限数值的表示和判定 GB 5009.226- 2016 食品安全国际标准 3 要求 3.1 外观 硫酸为无色或淡黄色透明液体，无明显可见沉淀和悬浮物。 3.2 技术要求 硫酸质量应符合表 1 的规定。 表 1 性能 指标 硫酸（ H2SO 4）W/ % ≥ 60 过氧化氢（ H2O2）W/ % ≤ 0.5 铁（Fe）W/ % ≤ 0.002 全国团体标准信息平台 T/SICA 001 -2020 2 透明度/mm ≥ 100 色度 不深于标准色度 灰分 W/ % ≤ 0.01 砷（ As）W/ % ≤ 0.001 铅（ Pb） W/ % ≤ 0.02 4 试验方法 本标准中所用试剂和水，在没有注明其他要求时，均指分析纯试剂和符合 GB/T 6682- 2008中规定的三级水。 试验中所需标准溶液、 制剂及制品， 在没有注明其他要求时， 均按 GB/T 601 、GB/T 602 、 GB/T 603 的规定制备。 4.1 外观 量取50mL 试样， 注入50mL 比色管中， 以水作为参比溶液， 沿比色管直径对光目视测定。 4.2 硫酸质量百分数的测定 按GB/T 534--2014 第5.2条规定的方法测定。 4.3 过氧化氢的测定 ——钛盐比色法 、高锰酸钾滴定法 、硫酸铈滴定法 4.3.1 钛盐比色法 4.3.1.1 原理 过氧化氢在酸性溶液中，与钛离子生成稳定的橙色络合物，在430nm 下，吸光 度与水样 中过氧化氢浓度成正比，用比色法测定样品中的过氧化氢的浓度。 4.3.1.2 试剂和材料  30%过氧化氢溶液  硫酸  草酸钾钛  高锰酸钾 4.3.1.3 仪器和设备  电子天平：感量为0.01 g  分光光度计：配 10 mL比色皿 4.3.1.4 试剂配制 4.3.1.4.1 钛溶液制备 取272 mL 硫酸缓慢加入约 300 mL水，冷却至室温，加入35.4g 草酸钾钛使其溶解并定 容至1L。 全国团体标准信息平台 T/SICA 001 -2020 3 4.3.1.4.2 标准溶液配制 按GB 5009.226- 2016 第10.3 条规定的方法配制 。 4.3.1.5 分析步骤 4.3.1.5.1 标准曲线的制作 取过氧化氢标准溶液至具塞比色管中， 加水定容， 分别稀释至 0 mg/L、0.5 mg/L、1mg/L、 5mg/L、10 mg /L、20 mg/L。分别取上述浓度的过氧化氢溶液 8 mL置于10 mL 比色皿中，各 加入钛溶液 2 mL，放置10 分钟，以空白管调节零 点，于 400nm处测量吸光度。以标准系列 的过氧化氢浓度（mg/L ）对吸光度绘制标准曲线。 4.3.1.5.2 水样浓度的测定 取8 mL水样置于 10 mL比色皿中， 加入 钛溶液 2 mL，放 置 10分钟， 以空白管调节零点， 于400nm 处测量吸光度。 分析结果以 重复性条件下获得的两次独立测定结果的算术平均值表示。 4.3.1.6 精密度 在重复性条件下获得的两次独立测定结果的绝对差值不得超过算