(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210981157.1 (22)申请日 2022.08.16 (71)申请人 业成科技 （成 都） 有限公司 地址 611730 四川省成 都市高新区西区合 作路689号 申请人 业成光电 （深圳） 有限公司 　 英特盛科技股份有限公司 (72)发明人 张洪彬　 (74)专利代理 机构 成都希盛知识产权代理有限 公司 512 26 专利代理师 胡德平 (51)Int.Cl. G01N 1/28(2006.01) G01N 23/2202(2018.01) G01N 23/2251(2018.01) (54)发明名称 离子切割测试装置和离 子切割测试方法 (57)摘要 本申请涉及一种离子切割测试装置和离子 切割测试方法， 离子切割测试装置用于对样品进 行切割， 样品具有待切割区， 离子切割测试装置 包括载台和挡板， 载台用于承载样品， 挡板遮挡 于样品背向载台的一侧， 且挡板上对应待切割区 的位置设有缺口。 该离子切割测试装置能够降低 切割过程对样品造成的破坏， 从而提升断面分析 结果的准确度。 权利要求书1页 说明书7页 附图3页 CN 115372096 A 2022.11.22 CN 115372096 A 1.一种离子切割测试装置， 用于对样品进行切割， 所述样品具有待切割区， 其特征在 于， 所述离 子切割测试装置包括： 载台， 用于承载 所述样品； 以及 挡板， 所述挡板遮挡于所述样品背向所述载台的一侧， 且所述挡板上对应所述待切割 区的位置设有缺口。 2.根据权利要求1所述的离子切割测试装置， 其特征在于， 所述载台包括底座、 用于承 载所述样品的承载座以及锁紧机构； 所述底座上设有凹槽， 所述承载座可拆卸地设于所述凹槽内， 所述锁紧机构用于将所 述承载座锁紧于所述凹槽内。 3.根据权利要求2所述的离子切割测试装置， 其特征在于， 所述锁紧机构包括设于所述 凹槽内的紧 固块以及贯 穿所述凹槽的槽壁的锁紧组件； 所述锁紧组件能够与所述紧 固块抵接， 以将所述紧 固块锁紧于所述凹槽内。 4.根据权利要求3所述的离子切割测试装置， 其特征在于， 所述底座上设有与 所述凹槽 连通的通 孔； 所述锁紧组件包括连接件、 缓冲件以及锁紧螺钉， 所述缓冲件位于所述通孔内， 所述连 接件的一端位于所述通孔内并与所述缓冲件抵接， 另一端伸入所述凹槽内并与所述紧固块 固定， 所述锁紧螺钉锁紧于所述通孔背向所述凹槽的一端， 且所述锁紧螺钉与所述缓冲件 背向所述连接件的一端抵 接。 5.根据权利要求1所述的离子切割测试装置， 其特征在于， 所述离子切割测试装置还包 括设于所述载台上的支撑架； 所述挡板安装于所述支撑架上。 6.根据权利要求5所述的离子切割测试装置， 其特征在于， 所述载台上设有多个第 一安 装位； 所述支撑架能够可拆卸地 安装于其中任一所述第一 安装位。 7.根据权利要求5所述的离子切割测试装置， 其特征在于， 所述支撑架上设有多个第 二 安装位； 所述挡板能够可拆卸地 安装于其中任一所述第二 安装位。 8.根据权利要求1 ‑7任一项所述的离子切割测试装置， 其特征在于， 所述挡板包括挡板 主体和连接于所述挡板主体上的两个侧挡板， 所述挡板主体与两个所述侧挡板之 间形成所 述缺口。 9.根据权利要求8所述的离 子切割测试装置， 其特 征在于， 所述挡板主体上设有滑槽； 所述侧挡板滑动连接 于所述滑槽内。 10.一种离子切割测试方法， 其特征在于， 采用 如权利要求1 ‑9任一项所述的离子切割 测试装置对样品进行切割。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115372096 A 2离子切割测试装 置和离子切割测试方 法 技术领域 [0001]本申请涉及离子切割技术领域， 特别是涉及一种离子切割测试装置和离子切割测 试方法。 背景技术 [0002]当需要对样品进行内部结构分析或者进行断面元素分析时， 可采用离子束对样品 进行切割以得到所需的断面。 但在采用离子束对样品进行切割的过程中， 离子到达样品表 面后会形成电荷累积， 使样品温度升高而对样品造成破坏， 从而影响断面分析 结果。 发明内容 [0003]基于此， 有必要针对离子束切割样品时容易破坏样品结构而影响断面分析结果的 问题， 提供一种离 子切割测试装置和离 子切割测试 方法。 [0004]根据本申请的一个方面， 提供一种离子切割测试装置， 用于对样品进行切割， 所述 样品具有待切割区， 所述离子切割测试装置包括： 载台， 用于承载所述样品； 以及挡板， 所述 挡板遮挡于所述样品背向所述载台的一侧， 且所述挡板上对应所述待切割区的位置 设有缺 口。 [0005]在一些实施例中， 所述载台包括底座、 用于承载所述样品的承载座以及锁紧机构； 所述底座上设有凹槽， 所述承载座可拆卸地设于所述凹槽内， 所述锁紧机构用于将所述承 载座锁紧于所述凹槽内。 [0006]在一些实施例中， 所述锁紧机构包括设于所述凹槽内的紧固块以及贯穿所述凹槽 的槽壁的锁紧组件； 所述锁紧组件能够与所述紧固块抵接， 以将所述紧固块锁紧于所述凹 槽内。 [0007]在一些实施例中， 所述底座上设有与所述凹槽连通的通孔； 所述锁紧组件包括连 接件、 缓冲件以及锁紧螺钉， 所述 缓冲件位于所述通孔内， 所述连接件的一端位于所述通孔 内并与所述缓冲件抵接， 另一端伸入所述凹槽内并与所述紧固块固定， 所述锁紧螺钉锁紧 于所述通孔背向所述凹槽的一端， 且所述锁紧螺钉与所述缓冲件背向所述连接件的一端抵 接。 [0008]在一些实施例中， 所述离子切割测试装置还包括设于所述载台上的支撑架； 所述 挡板安装于所述支撑架上。 [0009]在一些实施例中， 所述载台上设有多个第一安装位； 所述支撑架能够可拆卸地安 装于其中任一所述第一 安装位。 [0010]在一些实施例中， 所述支撑架上设有多个第二安装位； 所述挡板能够可拆卸地安 装于其中任一所述第二 安装位。 [0011]在一些实施例中， 所述挡板包括挡板主体和连接于所述挡板主体上的两个侧挡 板， 所述挡板主体与两个所述侧挡板之间形成所述 缺口。 [0012]在一些实施例中， 所述挡板主体上设有滑槽； 所述侧挡板滑动连接 于所述滑槽内。说　明　书 1/7 页 3 CN 115372096 A 3