(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211013325.4 (22)申请日 2022.08.23 (71)申请人 郑州轨道交通信息技 术研究院 地址 450001 河南省郑州市高新 技术产业 开发区翠竹街6号1 1号楼2楼 (72)发明人 陈松涛　何在田　董和平　兑志魁　 田耕　 (74)专利代理 机构 郑州浩德知识产权代理事务 所(普通合伙) 41130 专利代理师 柏琼琼 (51)Int.Cl. B23K 26/06(2014.01) B23K 26/064(2014.01) B23K 26/38(2014.01) B23K 26/402(2014.01)B23K 26/70(2014.01) H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 一种晶圆开槽光路装置及其 开槽隐切方法 (57)摘要 本发明涉及晶圆切割的技术领域， 尤其是一 种晶圆开槽光路装置及其开槽隐切方法， 包括双 波长激光器、 设置在双波长激光器正前方的第一 扩束镜、 倾斜设置在第一扩束镜前方的二向分光 镜、 设置在二向分光镜下方的红外光过滤光路、 设置在红外光过滤光路下方的开槽光路、 以及设 置在二向分光镜前方的紫外光过滤光路、 设置在 紫外光过滤光路下方的隐切光路。 本发明在使用 的时候， 在开槽的时候， 关闭第一光闸， 打开第二 光闸， 在隐切的时候， 打开第一光闸， 关闭第二光 闸， 通过第一光闸和第二光闸， 将开槽和隐切结 合在一台装置上， 提高了加工效率， 降低了加工 成本。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 115255615 A 2022.11.01 CN 115255615 A 1.一种晶圆开槽光路装置， 其特征在于： 包括双波长激光器、 设置在双波长激光器正前 方的第一扩束镜、 倾斜设置在第一扩束镜前方的二向分光镜、 设置在二向分光镜下方的红 外光过滤光路、 设置在红外光过滤光路下方 的开槽光路、 以及设置在二向分光镜前方的紫 外光过滤光路、 设置在紫外光过 滤光路下 方的隐切光路。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆开槽光路装置， 其特征在于： 所述的红外光过滤光路 包括依次设置在二向分光镜下方的紫外滤光镜、 第二光闸以及第一 1/2波片， 所述的开槽光 路包括设置在第一1/2波片正下方的分光棱镜、 依次设置在分光棱镜正下方的第三1/2波 片、 第二分束镜、 45 °偏振分光镜和第二聚焦镜、 倾斜设置在分光棱镜后方的第一反射镜、 依 次设置在第一反射镜正下 方的第二1/2波片、 第一分束镜和第一聚焦镜 。 3.根据权利要求2所述的一种晶圆开槽光路装置， 其特征在于： 所述的紫外光过滤光路 包括设置在依次设置在二向分光镜前方的红外滤光镜和第一光闸， 所述的隐切光路包括倾 斜设置在第一光闸前方的第二反射镜、 设置在第二反射镜下方的第四1/2波片、 倾斜设置在 第四1/2波片下方的第三反射镜， 以及设置在第三反射镜和45 °偏振分光镜 之间的第二扩束 镜。 4.根据权利要求3所述的一种晶圆开槽光路装置， 其特征在于： 所述的第一1/2波片、 第 二1/2波片、 第一分束镜、 第三1/2波片和第二分束镜的角度可调节。 5.根据权利要求4所述的一种晶圆开槽光路装置， 其特征在于： 通过电机来调节所述的 第一1/2波片、 第二1/2波片、 第一分束镜、 第三1/2波片和第二分束镜的角度。 6.根据权利要求5所述的一种晶圆开槽光路装置， 其特征在于： 所述的双波长激光器发 出的光为波长为3 55nm的紫外光和波长为10 64nm的红外光。 7.一种权利要求6所述的晶圆开槽光路装置的开槽隐切方法， 其特征在于： 包含以下步 骤： 步骤一： 晶圆底部贴在覆UV 膜的钢环上， 正 面朝上， 然后将晶圆放置在陶瓷盘上； 步骤二： 关闭第一光闸， 打开第二光闸， 双波长激光器发光经第一扩束镜， 二向分光镜 到紫外滤光镜， 紫外滤光镜将红外光过滤掉， 只剩下紫外光， 紫外光经第二光闸和第一1/2 波片到达分光棱镜， 分光棱镜将紫外光分为水平偏振光P和垂 直偏振光S； 垂 直偏振光S经第 一45°反射镜到达第二1/2波片和第一分束镜， 通过调节分束镜角度来调节垂直偏振光S开 槽宽度， 通过调节二1/2波角度调节垂直偏振光S能量分布， 经第一聚焦镜作用到晶圆上进 行开双细槽； 步骤三： 水平偏振光P到达第三1/2波片和第二分束镜， 通过调节分束镜角度来调节水 平偏振光P开槽宽度， 通过调节第三1/2波片的角度调节水平偏振光P能量分布， 水平偏振光 P经45°偏振分光镜和第二聚焦镜作用到晶圆上实现开宽槽， 经水平偏振光P和垂 直偏振光S 作用后实现 晶圆开槽， 开槽结束后， 去掉晶圆底部UV膜， 晶圆正面贴在覆UV膜的钢环上， 将 晶圆放置在陶瓷盘上； 步骤四： 打开第一光闸， 关闭第二光闸， 双波长激光器发光经第一扩束镜， 二向分光镜 到红外滤光镜， 红外滤光镜将紫外光过滤掉， 只剩下 红外光， 红外光经第一光闸、 第二45 °反 射镜、 第四1/2波片， 第三45 °反射镜和第二扩束镜后到达45 °偏振分光镜， 45 °偏振分光镜将 红外光分为水平偏振光P和垂直偏振光S， 垂直偏振光S经第二聚焦镜作用在晶圆上实现隐 切。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115255615 A 2一种晶圆 开槽光路装 置及其开槽隐切方 法 技术领域 [0001]本发明涉及晶圆切割的技术领域， 尤其是一种晶圆开槽光路装置及其开槽隐切方 法。 背景技术 [0002]开槽和隐切是Low ‑k介质晶圆加工中的两道工序， 现有的加工流程为先在low ‑k开 槽设备上开槽， 开槽完成后再在隐切设备上隐切， 要实现开槽和隐切需在两种不同的设备 上进行。 随着晶圆功能结构的提升， 晶圆对光照和灰尘越来越敏感， 因此要尽可能减少晶圆 裸露在空气中的时间， 晶圆现有加工方式为先在low ‑k开槽设备上开槽， 然后在隐切机台上 隐切， 要实现开槽和隐切需在两台设备 上， 加工时间长， 加工效率低且加工成本高。 发明内容 [0003]针对现有技术中的问题， 本发明的目的提供加工成本低， 效率高的将开槽和隐切 结合在一 起的装置和方法。 [0004]为了达到上述目的， 本发明的技 术方案是： 一种晶圆开槽光路装置， 包括双波长激光器、 设置在双波长激光器正前方的第一 扩束镜、 倾斜设置在第一扩束镜前方的二向分光镜、 设置在二向分光镜下方 的红外光过滤 光路、 设置在红外光过滤光路下方的开槽光路、 以及设置在二向分光镜前方 的紫外光过滤 光路、 设置在紫外光过 滤光路下 方的隐切光路。 [0005]所述的红外光过滤光路包括依次设置在二向分光镜下方的紫外滤光镜、 第二光闸 以及第一1/2波片， 所述的开槽光路包括设置在第一1/2波片正下方的分光棱镜、 依次设置 在分光棱镜正下方的第三 1/2波片、 第二分束镜、 45 °偏振分光镜和第二聚焦镜、 倾斜设置在 分光棱镜后方的第一反射镜、 依次设置在第一反射镜正下方的第二 1/2波片、 第一分束镜和 第一聚焦镜 。 [0006]所述的紫外光过滤光路包括设置在依次设置在二向分光镜前方的红外滤光镜和 第一光闸， 所述的隐切 光路包括倾斜设置在第一光闸前方 的第二反射镜、 设置在第二反射 镜下方的第四1/2波片、 倾斜设置在第四1/2波片下方的第三反射镜， 以及设置在第三反射 镜和45°偏振分光镜之间的第二扩束镜 。 [0007]所述的第一1/2波片、 第二1/2波片、 第一分束镜、 第三1/2波片和第二分束镜的角 度可调节。 [0008]通过电机来调节所述的第一1/2波片、 第二1/2波片、 第一分束镜、 第三1/2波片和 第二分束镜的角度。 [0009]所述的双波长激光器发出的光为波长为355nm的紫外光和波长为1064nm的红外 光。 [0010]一种权利要求6所述的 晶圆开槽光路装置的隐切方法， 包 含以下步骤： 步骤一： 晶圆底部贴在覆UV 膜的钢环上， 正 面朝上， 然后将晶圆放置在陶瓷盘上；说　明　书 1/4 页 3 CN 115255615 A 3