(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211068940.5 (22)申请日 2022.08.30 (71)申请人 江苏大学 地址 212013 江苏省镇江市京口区学府路 301号 (72)发明人 鲁金忠　边海榕　罗开玉　王钊　 夏蔡涛　 (74)专利代理 机构 南京智造力知识产权代理有 限公司 32382 专利代理师 包甄珍 (51)Int.Cl. B23K 26/70(2014.01) B23K 26/064(2014.01) (54)发明名称 一种激光精细微加工用的可吸附加工方法 及装置 (57)摘要 本发明涉及一种激光精细微加工用的可吸 附加工方法及装置。 装置包括平台基体、 可更换 平台、 前挡板、 密封胶条、 气管接头、 后挡板、 气 缸、 气动夹头、 把手、 真空泵。 材料在加工前预先 放置在可更换平台的指定位置， 在 平台基体准备 就绪后将可更换平台放置于平台基体上， 由平台 基体连接真空泵创造负压环境， 使被加工材料自 然吸附在可更换平台上， 随后对 可更换平台进行 进一步的夹紧定位， 确保被加工材料的高定位精 度。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 115229365 A 2022.10.25 CN 115229365 A 1.一种激光精细微加工用的可吸附加工装置， 位于振镜与场镜的下方， 其特征在于， 装 置包括平台基体、 可更换平台、 前挡板、 密封胶条、 气管接头、 后挡板、 气缸、 气动夹头、 把手、 真空泵； 设有预留气孔的可更换平台置于具有内部空腔的平台基体上表面， 与平台基体通 过负压环境与气动夹头的夹紧力紧密贴合， 密封胶条由前后两块挡板夹紧一同连接于平台 基体前后， 气管接头与气缸安装于平台基体底部， 其中气动夹头与气缸连接并受气缸驱动， 把手安装于可 更换平台的前挡板一侧， 气管接 头与真空泵连接 。 2.根据权利要求1所述的一种激光精细微加工用的可吸附加工装置， 其特征在于， 气管 接头作为媒介连接平台基体与真空泵， 提供负压环境； 负压环境密封通过前后挡板上 的密 封橡胶条实现。 3.根据权利要求1所述的一种激光精细微加工用的可吸附加工装置， 其特征在于， 所述 可更换平台的预留气孔 直径小于1m m。 4.根据权利要求1所述的一种激光精细微加工用的可吸附加工装置， 其特征在于， 场镜 下端与平台基 体上表面垂直距离不小于场镜焦距。 5.利用如权利要求1所述装置实施激光精细微加工用的可吸附加工方法， 其特征在于： 材料在加工前预先放置在可更换平台的指 定位置， 在平台基体准备就绪后 将可更换平台放 置于平台基体上， 由平台基体连接真空泵创造负压环境， 使被加工材料自然吸 附在可更换 平台上， 随后对可 更换平台进行进一 步的夹紧定位， 确保被加工材 料的高定位精度； 具体步骤如下： (1)将被加工材 料放置在可 更换平台指定位置上； (2)通过把手将可更换平台连同被加工材料一同放置在平台基体上， 放置完成后由气 缸驱动气动夹 头对可更换平台进行夹紧定位； (3)定位完成后真空泵启动， 真空泵通过气管接头连接至平台基体的内部空腔， 创造负 压环境， 平台基体空腔内的负压环境通过平台基体上端预留孔位与可更换平台预留气孔相 通， 产生负压， 使被加工材 料紧密贴合在可 更换平台上； (4)平台基 体在运动轴带动下移到待加工位置； (5)激光加工设备自带的视觉算法系统进行进一步的抓靶定位， 并计算与上次加工位 置的实际偏差值， 将 偏差值导入振镜控制卡； (6)振镜与场镜根据实际加工需求， 即正焦加工或正/负离焦加工， 通过激光加工设备 运动系统调整高度； (7)在振镜控制卡计算完成后， 激光进入振镜， 振镜转动反射镜片， 按照本次定位结果 进行加工， 加工的同时将下一件产品摆放于在另一可 更换平台上； (8)加工结束后， 可更换平台先退回到可更换平台的初始位置， 之后松开气动夹头， 最 后关闭真空泵； (9)更换可更换平台取 下加工成品， 完成本次加工 。 6.如权利要求5所述的方法， 其特征在于， 依靠负压实现被加工材料与 可更换平台的相 对位置不发生移动。 7.如权利要求6所述的方法， 其特 征在于， 负压环境 为空气， 负压 压强为‑6.5MPa。 8.如权利要求6所述的方法， 其特 征在于， 激光加工设备的最大激光功率低于10 0W。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115229365 A 2一种激光精 细微加工用的可吸附加工方 法及装置 技术领域 [0001]本发明涉及膜材、 板材等加工领域， 更具体地说， 它涉及一种激光精细微加工用的 可吸附加工方法及装置 。 背景技术 [0002]在膜材或者薄的板材加工过程中， 加工治具对材料的加工精度起到至关重要的作 用至关重要的作用， 大 大影响了材 料加工的合格率以及加工效率。 [0003]目前膜材的加工主要依靠外力将材料拉直， 而板材的加工依靠夹具的装夹， 这两 种方法会使 材料发生应力变形。 部 分研究表明， 当零件加工的精度要求比较高时， 在材料加 工中由于装夹方式不当产生的应变大大降低了产品的合格率。 而且加工过程中若被加工件 频繁移动， 便容 易造成了加工 定位精度难以得到保障。 [0004]因此， 为了保证膜材与板材的加工精度， 大幅提高生产效率， 降低生产成本， 在加 工过程中保证材料 的定位精度， 加工治具的设计改进， 具有重大意义。 其中， 所述的吸 附功 能是指在零件的加工过程中， 平台始终保持负压环境， 保证被加工材料 的相对位置不发生 变化。 [0005]但是， 目前在膜材与板材加工中采用的材料定位方式大多不能达到很好的效果， 材料定位精度差造成了批量生产时时间成本的大大增加， 且加工过程中材料的异动造成了 良品率的下降， 因此这种传统的加工方式的应用并不理想 。 发明内容 [0006]本发明的目的就是为了解决现有技术之不足而提供的一种结构简单， 加工精度 高， 能够提高产品质量和生产效率的激光精细微加工用的可吸附加工装置 。 [0007]本发明通过以下技术实现上述目的： 一种激光精细微加工用的可吸附加工装置， 其特征在于， 它包括平 台基体、 可更换平台、 前挡板、 密封胶条、 气管接头、 后挡板、 气缸、 气 动夹头、 把手、 真空泵； 设有 预留气孔的可更换平台置于具有内部空腔和预留气孔的的平台 基体上表面， 与平台基体通过负压环境与气动夹头的夹紧力紧密贴合， 密封胶条 由前后两 块挡板夹紧一同连接于平台基体前后， 气管接头与气缸安装于平台基体底部， 其中气动夹 头与气缸连接并受气缸驱动， 把手安装于可更换平台的前挡板一侧， 气管接头与真空泵连 接。 [0008]振镜与场镜通过自带螺纹配合连接， 可吸附加工装置位于振镜与场镜的下 方。 [0009]一种激光精细微加工用的可吸附加工方法， 其特征在于： 材料在加工前预先放置 在可更换平台的指定位置， 在平台基体准备就绪后将可更换平台放置于平台基体上， 由平 台基体连接真空泵创造负压环境， 使被加工材料自然吸 附在可更换平台上， 随后对可更换 平台进行进一 步的夹紧定位， 确保被加工材 料的高定位精度。 [0010]其具体步骤如下： [0011](1)将被加工材 料放置在可 更换平台指定位置上；说　明　书 1/4 页 3 CN 115229365 A 3