(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221925434.9 (22)申请日 2022.07.25 (73)专利权人 杞县东磁新能源 有限公司 地址 475000 河南省开封市杞县葛岗镇楚 寨村 (72)发明人 张会现　邵化水　林玉振　 (74)专利代理 机构 郑州银河专利代理有限公司 41158 专利代理师 王昱淇 (51)Int.Cl. B01F 33/501(2022.01) B01F 29/83(2022.01) B01F 35/12(2022.01) B01F 35/75(2022.01) B01F 101/36(2022.01) (54)实用新型名称 一种掺镓硅片加工用匀胶机 (57)摘要 本实用新型提供一种掺镓硅片加工用匀胶 机， 包括基座、 设置在基座底部的支撑腿、 设置在 基座顶部的U型的安装架、 设置在安装架左右侧 端内壁之间的横板、 设置在横板顶部的轴承座、 与轴承座的内侧壁相连接且竖向贯穿横板的出 料管、 设置在横板上且与出料管相适配的通孔、 设置在出料管上的控制阀、 设置在出料管顶部的 匀胶筒、 用于对 出料管进行转动驱动的驱动模块 和与驱动模块相适配且用于对匀胶筒中的光刻 胶以及稀释剂的混合物进行搅拌处理的搅拌辅 助模块。 通过本实用新型的掺镓硅片加工用匀胶 机， 不仅能够使得匀胶筒进行转动， 而且还能通 过搅拌模块快速高效地对匀胶筒中的光刻胶和 稀释剂进行搅拌 处理， 从而实现对光刻胶和稀释 剂的充分均匀混合。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 218107502 U 2022.12.23 CN 218107502 U 1.一种掺镓硅片加工用匀胶机， 包括基座(101)和设置在基座(101)底部的支撑腿 (102)， 其特征在于： 还包括设置在基座(101)顶部的U型的安装架(103)、 设置在安装架 (103)左右侧端内壁之间的横板(104)、 设置在横板(104)顶部的轴承座(105)、 与轴承座 (105)的内侧壁相连接且 竖向贯穿横 板(104)的出料管(106)、 设置在横 板(104)上且与出料 管(106)相适配的通孔、 设置在出料管(106)上的控制阀(107)、 设置在出料管(106)顶部的 匀胶筒(108)、 用于对 出料管(106)进 行转动驱动的驱动模块和与驱动模块相适配且用于对 匀胶筒(108)中的光刻 胶以及稀释剂的混合物进行搅拌处 理的搅拌辅助模块。 2.如权利要求1所述的掺镓硅片加工用匀胶机， 其特征在于： 所述驱动模块包括竖向设 置在横板(104)顶部的驱动电机(201)、 设置在驱动电机(201)的输出轴上的主动齿轮(202) 和设置在出 料管(106)上且能够与主动齿轮(202)相啮合的从动齿轮(20 3)。 3.如权利要求2所述的掺镓硅片加工用匀胶机， 其特征在于： 所述匀胶筒(108)的下端 为与出料管(106)相适配的锥筒形。 4.如权利要求3所述的掺镓硅片加工用匀胶机， 其特征在于： 所述搅拌辅助模块包括竖 向设置在安装架(103)顶部底壁上的伸缩推杆(301)、 设置在伸缩推杆(301)的输出轴下端 的搅拌轴(302)、 设置在搅拌轴(302)上的搅拌叶片(303)和设置在搅拌轴(302)的底部以及 搅拌叶片(3 03)的侧端且与匀胶筒(108)相适配的刮料板(3 04)。 5.如权利要求4所述的掺镓硅片加工用匀胶机， 其特征在于： 所述控制阀(107)为手动 调节阀。 6.如权利要求5所述的掺镓硅片加工用匀胶机， 其特征在于： 所述安装架(103)与机架 焊接固定 。 7.如权利 要求5或6所述的掺镓硅片加工用匀胶机， 其特征在于： 所述基座(101)的顶部 还设置有用于对 承接容器在基座(101)上的放置位置进行限位 导引的安 放槽(109)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218107502 U 2一种掺镓硅片加工用匀胶机 技术领域 [0001]本实用新型属于匀胶设备技 术领域， 特别涉及一种掺 镓硅片加工用匀胶机 。 背景技术 [0002]硅片加工中， 需要将光刻胶涂布在硅片上， 以满足硅片曝光的需要， 该光刻胶为从 厂家购买的成品负性光刻胶加 二甲苯稀释剂进行调稀而成。 现有技术中， 稀释剂添加至光 刻胶内、 并搅拌均匀的操作由人工进行， 但该操作方式具有工人劳动量大、 混合时间长、 混 合均匀程度差的缺 点。 [0003]公告号为CN  211707288  U的实用新型公开了一种硅片加工用匀胶机， 包括底座， 底座的顶部设置有圆柱形腔体， 圆柱形腔体内部的中心位置处设置有电机， 且圆柱形腔体 内侧顶端沿其圆周方向设置有环形齿， 电机的输出端固定连接有旋转板， 旋转板的一侧 通 过轴承设置有旋转杆， 旋转杆底端延伸至环形齿内侧固定连接有齿轮。 本实用新型电机带 动旋转盘转动， 而胶瓶 随着旋转盘在水平方向发生转动， 使得胶瓶内部的二甲苯稀释剂光 刻胶进行混合， 且由于胶瓶固定柱底部的旋转杆齿轮与环形齿相互啮合， 进而使得旋转杆 带动胶瓶固定柱发生转动， 从而使得胶瓶自身发生转动， 提高了二甲苯稀释剂光刻胶混合 效率， 同时本实用新型结构简单， 制作成本低。 然而本专利的技术方案却存在着如下缺陷： 本专利的技术方案仅仅能够使得胶瓶自身进 行转动， 并没有设置用于对胶瓶中的光刻胶和 稀释剂的混合物进行搅拌处 理的搅拌模块， 是以存在着搅拌效率低、 搅拌效果差的缺陷。 实用新型内容 [0004]有鉴于此， 本 实用新型针对现有技术的不足， 提供一种掺镓硅片加工用匀胶机， 不 仅能够使得匀胶筒进 行转动， 而且还能通过搅拌模块快速高效地对匀胶筒中的光刻胶和稀 释剂进行搅拌处 理， 从而实现对光刻 胶和稀释剂的充分均匀混合。 [0005]为解决上述技术问题， 本实用新型采用的技术方案是： 一种掺镓硅片加工用匀胶 机， 包括基座、 设置在基座底部的支撑腿、 设置在基座顶部的U 型的安装架、 设置在安装架左 右侧端内壁之间的横板、 设置在横板顶部的轴承座、 与轴承座的内侧 壁相连接且竖向贯穿 横板的出料管、 设置在横板上且与出料管相适配的通孔、 设置在出料管上的控制阀、 设置在 出料管顶部的匀胶筒、 用于对出料管进行转动驱动的驱动模块和与驱动模块相适配且用于 对匀胶筒中的光刻胶以及稀释剂的混合物进 行搅拌处理的搅拌辅助模块。 驱动模块包括竖 向设置在横板顶部的驱动电机、 设置在驱动电机的输出轴上的主动齿轮和设置在出料管上 且能够与主动齿轮相啮合的从动齿轮。 匀胶筒的下端为与出料管相适配的锥筒形。 搅拌辅 助模块包括竖向设置在安装架顶部底壁上的伸缩推杆、 设置在伸缩推杆的输出轴下端的搅 拌轴、 设置在 搅拌轴上的搅拌叶片和设置在搅拌轴的底部以及 搅拌叶片的侧端且与匀胶筒 相适配的刮料板 。 [0006]进一步的， 控制阀为手动调节阀。 手动调节阀为的型号 为海斯迪克  HK‑5004。 [0007]进一步的， 安装架与机架焊接固定 。 能够使得安装架与机架牢固地固定 到一起。说　明　书 1/4 页 3 CN 218107502 U 3