(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221948320.6 (22)申请日 2022.07.26 (73)专利权人 全椒科利德电子材 料有限公司 地址 230000 安徽省滁州市全椒 县十字镇 十谭产业园朝阳路18号 (72)发明人 赵毅　石琳　童雪　 (74)专利代理 机构 大连优路智权专利代理事务 所(普通合伙) 21249 专利代理师 姚萍 (51)Int.Cl. B01F 35/75(2022.01) B01F 27/90(2022.01) B01F 27/191(2022.01) C01B 21/22(2006.01) (54)实用新型名称 一种高纯氧化 亚氮生产用连续进料装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种高纯氧化亚氮生产 用连续进料装置， 包括混匀罐， 所述混匀罐的顶 部设置有盖板， 所述盖板的顶部设置有进料口， 所述盖板的上端面设置有驱动电机， 所述驱动电 机的输出端贯穿入所述混匀罐内部且连接有搅 拌轴， 所述搅拌轴上设置有与所述混匀罐适配的 混匀杆， 所述混匀罐的下方设置有出料管。 本申 请有由第一传动轴、 第一齿轮、 第二传动轴、 第二 齿轮、 半齿轮和第三齿轮组成的控制螺旋叶片间 歇转动的驱动部， 在原料倒入混匀罐后， 搅拌轴 转动将原料混匀打散， 然后半齿轮会与第三齿轮 啮合， 带动螺旋叶片将打散后的远离输入到生产 设备中， 如此可以防止原料凝结， 影响产品质量。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 217887883 U 2022.11.25 CN 217887883 U 1.一种高纯氧化亚氮生产用连续进料装置， 包括混匀罐(1)， 所述混匀罐(1)的顶部设 置有盖板(2)， 所述盖板(2)的顶部设置有进料口(3)， 其特征在于， 所述盖板(2)的上端面设 置有驱动电机(4)， 所述驱动电机(4)的输出端贯穿入所述混匀罐(1)内部且连接有搅拌轴 (5)， 所述搅拌轴(5)上设置有与所述混匀罐(1)适配的混匀杆(6)， 所述混匀罐(1)的下方设 置有出料管(10)， 所述出料管(10)的内部设置有第一传动轴(9)， 所述第一传动轴(9)的外 侧设置有螺旋叶片(11)， 所述混匀罐(1)和所述出料管(10)的交汇处设置有控制螺旋叶片 (11)转动的传动机构。 2.根据权利要求1所述的一种高纯氧化亚氮生产用连续进料装置， 其特征在于， 所述传 动机构包括传动壳体(7)， 所述传动壳体(7)的内部转动连接有第二传动轴(19)， 所述第二 传动轴(19)的顶部设置有第二齿轮(20)， 所述第二传动轴(19)的底部设置有半齿轮(21)， 所述第二齿轮(20)啮合连接有第一齿轮(18)， 所述半齿轮(21)间歇啮合有第三齿轮(22)， 所述第二齿轮(20)的直径大于所述第一齿轮(18)的直径。 3.根据权利要求2所述的一种高纯氧化亚氮生产用连续进料装置， 其特征在于， 所述搅 拌轴(5)的底部贯穿入所述传动壳体(7)且和所述第一齿轮(18)固定连接， 所述第二传动轴 (19)的顶部贯 穿入所述传动壳体(7)且和所述第三齿轮(2 2)固定连接 。 4.根据权利要求3所述的一种高纯氧化亚氮生产用连续进料装置， 其特征在于， 所述出 料管(10)的底部滑动连接有封闭板(14)， 所述出料管(10)的侧面设置有控制所述封闭板 (14)开合的驱动部 。 5.根据权利要求4所述的一种高纯氧化亚氮生产用连续进料装置， 其特征在于， 所述驱 动部包括限位板(12)， 所述限位板(12)上开设有滑槽(13)， 所述滑槽(13)内螺纹连接有螺 纹杆(16)， 所述滑槽(13)的底部开设有限位孔(17)， 所述螺纹杆(16)的底部转动连接有传 动杆(15)， 所述传动杆(15)穿过所述限位孔(17)且和所述限位孔(17)滑动连接， 所述传动 杆(15)的底部和所述封闭板(14)固定连接 。 6.根据权利要求5所述的一种高纯氧化亚氮生产用连续进料装置， 其特征在于， 所述螺 纹杆(16)的一端设置有转轮， 所述传动壳体(7)通过限位杆(8)和所述出料管(10)的内壁固 定连接。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217887883 U 2一种高纯 氧化亚氮生产用连续 进料装置 技术领域 [0001]本实用新型涉及进料装置技术领域， 尤其涉及一种高纯氧化亚氮生产用连续进料 装置。 背景技术 [0002]氧化亚氮又称笑气， 作为一种重要的工业气体， 主要应用于医学领域和电子工业 中， 传统应用中主要用作麻醉剂等。 近年来， 随着现代工业的发展， 高纯氧化亚氮在电子行 业的应用越发广泛， 尤其是作为半导体技术 发展的重要 材料， 主要应用在集 成电路、 液晶显 示等技术领域， 并且发展趋势迅猛。 在集成电路和LED芯片的制作过程中， 高纯氧化亚氮经 化学反应生成的SiO2膜被沉淀到硅衬底上， 其 纯度直接影响到SiO2膜纯度， 并最终影响到电 子器件的性能及质量。 在氧化亚氮的生产中， 首先将原料充分混合后再进 行生产， 原料混合 后， 如果不立即使用的话可能会 出现凝结现象， 如此会影响产品的品质， 而且氧化亚氮生产 装置存在不足之处， 都是间歇进料 方式， 因此如何高效的制备 氧化亚氮也是不可或缺的。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的在于： 为了解决上述问题， 而提出的一种高纯氧化亚氮生产用 连续进料装置 。 [0004]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技 术方案： [0005]一种高纯氧化亚氮生产用连续进料装置， 包括混匀罐， 所述混匀罐的顶部设置有 盖板， 所述盖板的顶部 设置有进 料口， 所述盖板的上端面设置有驱动电机， 所述驱动电机的 输出端贯穿入所述混匀罐内部且连接有搅 拌轴， 所述搅拌轴上设置有与所述混匀罐适配的 混匀杆， 所述混匀罐的下方设置有出料管， 所述出料管的内部 设置有第一传动轴， 所述第一 传动轴的外侧设置有螺旋叶片， 所述混匀罐和所述出料管的交汇处设置有控制螺旋叶片转 动的传动机构。 [0006]优选地， 所述传动机构包括传动壳体， 所述传动壳体的内部转动连接有第二传动 轴， 所述第二传动轴的顶部 设置有第二齿轮， 所述第二传动轴的底部 设置有半齿轮， 所述第 二齿轮啮合连接有第一齿轮， 所述半齿轮间歇啮合有第三齿轮， 所述第二齿轮的直径大于 所述第一齿轮的直径。 [0007]优选地， 所述搅拌轴的底部贯穿入所述传动壳体且和所述第一齿轮固定连接， 所 述第二传动轴的顶部贯 穿入所述传动壳体且和所述第三齿轮固定连接 。 [0008]优选地， 所述出料管的底部滑动连接有封闭板， 所述出料管的侧面设置有控制 所 述封闭板开 合的驱动部 。 [0009]优选地， 所述驱动部包括限位板， 所述限位板上开设有滑槽， 所述滑槽内螺纹连接 有螺纹杆， 所述滑槽的底部开设有限位孔， 所述螺纹杆的底部转动连接有传动杆， 所述传动 杆穿过所述限位 孔且和所述限位 孔滑动连接， 所述传动杆的底部和所述封闭板固定连接 。 [0010]优选地， 所述螺纹杆的一端设置有转轮， 所述传动壳体通过限位杆和所述出料管说　明　书 1/3 页 3 CN 217887883 U 3