(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222257937.X (22)申请日 2022.08.26 (73)专利权人 山东才聚电子科技有限公司 地址 255086 山东省淄博市周村区经济开 发区创新产业园4 号楼A区 (72)发明人 李向东　 (74)专利代理 机构 淄博佳和专利代理事务所 (普通合伙) 37223 专利代理师 孙智慧 (51)Int.Cl. B08B 5/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆废边去除装置 (57)摘要 一种晶圆废边去除装置， 属于晶圆加工设备 技术领域。 其特征在于： 包括晶圆夹紧装置、 动力 装置、 废边收集装置以及抽负压装置， 抽负压装 置的进气口设置在晶圆夹紧装置的一侧， 抽负压 装置的出气口与废边收集装置相连通， 动力装置 与晶圆夹紧装置相连， 并带动其转动。 本晶圆废 边去除装置的晶圆夹紧装置能够夹紧裂片后的 晶圆， 抽负压装置的进气口能够吸取晶圆的废 边， 并将抽取的废边送入到废边收集装置内， 动 力装置带动晶圆夹紧装置转动， 实现了晶圆周圈 废边的去除， 废边收集装置能够对去除的废边进 行收集， 方便对去除的废边进行集中处理， 避免 废边对工作环境造成污染。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 217911954 U 2022.11.29 CN 217911954 U 1.一种晶圆废边去 除装置， 其特征在于： 包括晶圆夹紧装置、 动力装置、 废边收集装置 以及抽负压装置， 抽负压装置的进气口设置在晶圆夹紧装置的一侧， 抽负压装置的出气口 与废边收集装置相连通， 动力装置与晶圆夹紧装置相连， 并带动其 转动。 2.根据权利要求1所述的晶圆废边去除装置， 其特征在于： 所述的废边收集装置包括收 集仓 （25） ， 收集仓 （25） 的顶部与抽负压装置的出气口相连通。 3.根据权利要求2所述的晶圆废边去除装置， 其特征在于： 所述的废边收集装置还包括 抽屉 （26） ， 抽屉 （26） 可滑动的安装在收集仓 （25） 内。 4.根据权利要求1所述的晶圆废边去除装置， 其特征在于： 所述的晶圆夹紧装置包括压 盘 （21） 、 托盘 （22） 以及压紧气缸 （7） ， 托盘 （22） 与动力装置相连， 压盘 （21） 同轴设置在托盘 （22） 的正上 方， 压紧气缸 （7） 的活塞杆与压盘 （21） 可转动的连接 。 5.根据权利要求4所述的晶圆废边去除装置， 其特征在于： 所述的压盘 （21） 连接有导向 装置。 6.根据权利要求5所述的晶圆废边去除装置， 其特征在于： 所述的导向装置包括导向轴 （8） 以及导向套 （11） ， 导向轴 （8） 竖向设置， 导向套 （11） 与压盘 （21） 相连， 导向套 （11） 可滑动 的套设在导向轴 （8） 外 。 7.根据权利要求4所述的晶圆废边去除装置， 其特征在于： 所述的晶圆夹紧装置还包括 复位弹簧 （10） ， 复位弹簧 （10） 与压盘 （21） 相连。 8.根据权利要求4所述的晶圆废边去除装置， 其特征在于： 还包括挡料筒 （23） ， 挡料筒 （23） 为底部 封闭的圆筒， 托盘 （2 2） 设置在挡料筒 （23） 内。 9.根据权利要求1所述的晶圆废边去除装置， 其特征在于： 所述的动力装置包括旋转电 机 （16） 以及同步带 （15） ， 旋转电机 （16） 的输出轴通过同步带与晶圆夹紧装置相连。 10.根据权利要求1所述的晶圆废边去除装置， 其特征在于： 还包括吹气管， 吹气管的出 气口设置在晶圆夹紧装置的一侧， 且吹气管的出气口与抽负压装置的出气口沿夹紧装置的 转动方向依次设置 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217911954 U 2一种晶圆废边 去除装置 技术领域 [0001]一种晶圆废边去除装置， 属于晶圆加工设备技 术领域。 背景技术 [0002]晶圆在经裂片机裂片后， 需要对晶圆边缘的废边进行取出， 目前主要是通过人工 的方式取出晶圆的废边， 这种废边去除的方式工作效率低。 申请号为202021647060.X的中 国实用新型专利公开了一种去边机， 其通过去边喷嘴对晶圆的的废边进行吹除， 为了保证 将废边吹走， 需要喷嘴吹出的空气具有足够的压力， 但是压缩气会将废边吹散， 导致吹除的 废边难以集中处 理。 发明内容 [0003]本实用新型要解决的技术问题是： 克服现有技术的不足， 提供一种能够实现裂片 后晶圆废边的去除， 且能够对去除的废边收集并集中处 理的晶圆废边去除装置 。 [0004]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是： 该晶圆废边去除装置， 其特征 在于： 包括晶圆夹紧装置、 动力装置、 废边收集装置以及抽负压装置， 抽负压装置的进气口 设置在晶圆夹紧装置的一侧， 抽负压装置的出气口与废边收集装置相连通， 动力装置与晶 圆夹紧装置相连， 并带动其 转动。 [0005]优选的， 所述的废边收集装置包括收集仓， 收集仓 的顶部与抽负压装置的出气口 相连通。 收集仓能够承接去除的废边。 [0006]优选的， 所述的废边收集装置还包括抽屉， 抽屉可滑动的安装在收集仓内。 进入到 收集仓内的废边 落入到抽屉内， 方便对收集仓内的废边进行清理。 [0007]优选的， 所述的晶圆夹紧装置包括压盘、 托盘以及压紧气缸， 托盘与动力装置相 连， 压盘同轴设置在托盘的正上 方， 压紧气缸的活塞杆与压盘可转动的连接 。 [0008]优选的， 所述的压盘连接有导向装置 。 [0009]优选的， 所述的导向装置包括导向轴以及导向套， 导向轴竖向设置， 导向套与压盘 相连， 导向套可滑动的套设在导向轴外。 导向轴与导向套相配合， 对压盘进行导向， 使压盘 直线升降， 保证压盘与托盘正对， 对晶圆的夹紧位置精确。 [0010]优选的， 所述的晶圆夹紧装置还包括复位弹簧， 复位弹簧与压盘相连。 复位弹簧能 够辅助压盘复位。 [0011]优选的， 还包括挡料筒， 挡料筒为底部封闭的圆筒， 托盘设置在挡料筒内。 挡料筒 能够对托盘上甩出 的废边进行阻挡， 且由于晶圆底部通过液体粘附在纸片上， 挡 料筒还能 够避免液体甩至 工作台面上。 [0012]优选的， 所述的动力装置包括旋转电机以及同步带， 旋转电机 的输出轴通过同步 带与晶圆夹紧装置相连。 [0013]优选的， 还包括吹气管， 吹气管的出气口设置在晶圆夹紧装置的一侧， 且吹气管的 出气口与抽负压装置的出气口沿夹紧装置的转动方向依次设置。 由于裂片后的晶圆通过液说　明　书 1/4 页 3 CN 217911954 U 3