(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221557919.7 (22)申请日 2022.06.21 (73)专利权人 合肥长天化学技 术有限公司 地址 230001 安徽省合肥市肥东县梁园镇 合肥上海产业园原路口政 府大院内 (72)发明人 谢长义　 (74)专利代理 机构 深圳博敖专利代理事务所 (普通合伙) 44884 专利代理师 黄小琴 (51)Int.Cl. B01F 27/906(2022.01) B01F 27/191(2022.01) B01F 35/75(2022.01) F16F 15/067(2006.01) (54)实用新型名称 纳米晶圆研磨液混搅 筒出料缓冲结构 (57)摘要 本实用新型公开了纳米晶圆研磨液混搅筒 出料缓冲结构， 包括混搅筒主体， 所述混搅筒主 体的下表 面设置有出料管， 所述出料管的下端设 置有中继管， 所述中继管的内部设有活塞板， 所 述活塞板的右侧壁设置有 连接杆， 所述连接杆的 右端延伸至中继管的外部并设有往复机构， 所述 出料管和 中继管的内部分别设置有第一电磁阀 和第二电磁阀， 通过设置左端为锥型筒结构的中 继管， 能够在第一电磁阀开启 后， 混搅筒主体内 部的研磨液通过出料管流入中继管内部， 中继管 管壁承受冲击力， 同时中继管内的底部留余部分 研磨液， 对补充至中继管内部的研磨液起到缓冲 作用， 研磨液通过第二电磁阀缓慢 流入盛放容器 内部， 防止 研磨液流速过快损坏盛放 容器。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 217431512 U 2022.09.16 CN 217431512 U 1.纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构， 包括混搅筒主体(1)， 其特征在于： 所述混搅 筒主体(1)的下表面设置有出料管(2)， 所述出料管(2)的下端设置有中继管(3)， 所述中继 管(3)的内部设有活塞板(4)， 所述活塞板(4)的右侧壁设置有 连接杆(5)， 所述连接杆(5)的 右端延伸至中继管(3)的外部并设有往复机构(6)， 所述出料管(2)和中继管(3)的内部分别 设置有第一电磁阀(8)和第二电磁阀(9)， 所述中继管(3)的圆周外壁设有减震机构(7)， 所 述第二电磁阀(9)和活塞板(4)分别位于出料管(2)的左侧和右侧， 所述混搅筒主体(1)的左 端为锥型筒结构。 2.根据权利要求1所述的纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲 结构， 其特征在于： 所述往 复 机构(6)包括安装载板(601)， 所述安装载板(601)设置在混搅筒主体(1)的圆周外壁， 所述 安装载板(601)的上表面设置有往复电机(602)， 所述往复电机(602)电机轴的下端贯穿安 装载板(601)并设置有偏心轮(603)， 所述偏心轮(603)的外侧 套设有联动框体(604)， 所述 连接杆(5)的右端设置在联动框体(604)的外侧壁， 所述连接杆(5)的外侧套设有导向架 (605)， 所述导向架(6 05)设置在混搅筒 主体(1)的下表面。 3.根据权利要求1所述的纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲 结构， 其特征在于： 所述减震 机构(7)包括外置架(701)， 所述外置架(701)设置在混搅筒主体(1)的下表面， 所述中继管 (3)的圆周外壁设有 内置架(702)， 所述内置架(702)的底部铰接有导向伸缩杆(703)， 且导 向伸缩杆(703)阵列设有若干个， 所述导向伸缩杆(703)的下端均铰接在外置架(701)的顶 部， 所述导向伸缩杆(703)的外侧套设有减震弹簧(704)， 所述减震弹簧(704)的两端分别设 置在外置架(701)的顶部和内置架(702)的底部 。 4.根据权利要求1所述的纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲 结构， 其特征在于： 所述混搅 筒主体(1)的上表面设置有搅拌电机(10)， 所述搅拌电机(10)电机轴的下端贯穿混搅筒主 体(1)顶部并设置有搅拌轴(11)， 所述搅拌轴(11)与 混搅筒主体(1)内的底面转动连接， 所 述搅拌轴(11)的圆周外壁设置有搅拌叶片(12)， 所述混搅筒主体(1)的上表面设置有进料 管(14)， 且 搅拌叶片(12)和进料 管(14)均设置有 若干个。 5.根据权利要求4所述的纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲 结构， 其特征在于： 所述搅拌 轴(11)的圆周外壁左右对称设置有刮料板(13)， 所述刮料板(13)为L型结构， 所述混搅筒主 体(1)内的底面及内侧壁均 与刮料板(13)相抵 。 6.根据权利要求1所述的纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲 结构， 其特征在于： 所述混搅 筒主体(1)的下表面设置有支座(15)， 且支座(15)阵列设置有 若干个。 7.根据权利要求1所述的纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲 结构， 其特征在于： 所述活塞 板(4)的圆周外壁开设有安装槽， 且安装槽的内部设置有橡胶环(16)， 所述橡胶环(16)与中 继管(3)的内壁相抵 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217431512 U 2纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构 技术领域 [0001]本实用新型属于研磨液生产设备技术领域， 具体涉及纳 米晶圆研磨液混搅筒出料 缓冲结构。 背景技术 [0002]各种集成电路及及中央处理器的芯片， 仰赖一块块尺寸相同地晶圆送入晶圆研磨 机里， 导入晶圆研磨液精细磨切分并抛光成一块块地细小芯片体， 而芯片研磨液 的产出要 由多种原料以预定精确比例份量， 分批送入晶圆研磨混搅机台内之混搅筒内混搅均匀而 成。 [0003]目前的研磨液生产工序中， 当研磨液原料混合完毕后从混搅筒中排出时， 研磨液 的流速受混料罐内压力的影响， 导致研磨液流速过快， 对盛放容器造成一定的破坏， 影响研 磨液的正常生产， 为此我们提出纳米晶圆研磨液混搅筒出 料缓冲结构。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构， 以解决上述背 景技术中提出的问题。 [0005]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 纳米 晶圆研磨液混搅筒出料缓 冲结构， 包括混搅筒主体， 所述混搅筒主体的下表面设置有 出料管， 所述出料管的下端设置 有中继管， 所述中继管的内部设有活塞板， 所述活塞板的右侧壁设置有 连接杆， 所述连接杆 的右端延伸至中继管的外部并设有往复机构， 所述出料管和中继管的内部 分别设置有第一 电磁阀和第二电磁阀， 所述中继管 的圆周外壁设有减震机构， 所述第二电磁阀和活塞板分 别位于出 料管的左侧 和右侧， 所述混搅筒 主体的左端为锥型筒结构。 [0006]优选的， 所述往复机构包括安装载板， 所述安装载板设置在混搅筒主体的圆周外 壁， 所述安装载板的上表面设置有往复电机， 所述往复电机电机轴的下端贯穿安装载板并 设置有偏心轮， 所述偏心轮的外侧套设有联动框体， 所述连接杆 的右端设置在联动框体的 外侧壁， 所述连接杆的外侧套设有导向架， 所述 导向架设置在混搅筒 主体的下表面。 [0007]优选的， 所述减震机构包括外置架， 所述外置架设置在混搅筒主体的下表面， 所述 中继管的圆周外壁设有内置架， 所述内置架的底部铰接有导向伸缩杆， 且导向伸缩杆阵列 设有若干个， 所述导向伸缩杆的下端均铰接在外置架的顶部， 所述导向伸缩杆的外侧套设 有减震弹簧， 所述减震弹簧的两端分别设置在外 置架的顶部和内置架的底部 。 [0008]优选的， 所述混搅筒主体的上表面设置有搅拌电机， 所述搅拌电机电机轴的下端 贯穿混搅筒主体顶部并设置有搅拌轴， 所述搅拌轴与混搅筒主体内的底面转动连接， 所述 搅拌轴的圆周外壁设置有搅拌叶片， 所述混搅筒主体的上表面设置有进料管， 且搅拌叶片 和进料管均设置有 若干个。 [0009]优选的， 所述搅拌轴的圆周外壁左右对称设置有刮料板， 所述刮料板为L型结构， 所述混搅筒 主体内的底面及内侧壁均 与刮料板相抵 。说　明　书 1/3 页 3 CN 217431512 U 3